DUV Plan 20X/50X
近紫外物镜

用于明场观察的长工作距离物镜。
该物镜经过校正，可聚焦在可见光范围和近紫外 266nm 中使用的波长。
它被设计为在近紫外区域具有高光谱透射率，当连接到显微镜并与 266nm YAG 激光器配合使用时，它非常适合半导体电路和 LCD 修复等薄膜加工。