探针显微镜
探针显微镜
显微镜
Super Scope
高分辨率、高放大倍率显微镜，非常适合半导体探针台和 LCD 组装工艺。
PS-888L型配备了三个成像镜头，传输波长为1064nm、532nm和355nm，当安装在YAG激光照射系统中时，可以加工半导体电路、LCD层等。
侧面摄像头端口规格
PS-888-TRI 型的摄像头端口连接在显微镜的侧面。
照明从侧面推入，采用科勒照明，为图像提供良好的对比度和更少的照明不均匀。
成像镜头不可切换。
Super Scope
高分辨率、高放大倍率显微镜，非常适合半导体探针台和 LCD 组装工艺。
PS-888L型配备了三个成像镜头，传输波长为1064nm、532nm和355nm，当安装在YAG激光照射系统中时，可以加工半导体电路、LCD层等。
侧面摄像头端口规格
PS-888-TRI 型的摄像头端口连接在显微镜的侧面。
照明从侧面推入，采用科勒照明，为图像提供良好的对比度和更少的照明不均匀。
成像镜头不可切换。
| 模型 | PS-888 | PS-888L | PS-888-TRI |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 探针装置用显微镜 | 激光切割显微镜 | 侧端口 3 波长成像 |
| 镜筒类型 | 可见光 | 近红外到近紫外兼容 | 近红外到近紫外兼容 |
| 直立三目观察头：眼宽调节 直立三目观察头：视野 直立三目观察头：光轴 | 西登顶式50-75mm可调 23mm T:R70:30同时观察 | 西登顶式50-75mm可调 23mm 0:100/100:0光路切换型 | 西登顶式50-75mm可调 23mm 0:100/100:0光路切换型 |
| 机身：成像镜头 | 1×(486-656)nm 2×(486-656)nm 转塔切换型 | 1×(355-532)nm 1×(532-1064)nm 2×(486-656)nm…无法进行激光加工 转塔切换类型 | 1×(355-532)nm 1×(532-1064)nm 2×(486-656)nm…无法进行激光加工 转塔切换类型 |
| 机身：激光 | - | YAG 激光（第一、第二、第三谐波） | YAG 激光（第一、第二、第三谐波） |
| 山 | C接口 | 激光安装座（N/W） | C 型安装座/激光安装座（N/W） |
| 同轴落射照明 | 带孔径光阑的明场科勒照明 | 带孔径光阑的明场科勒照明 | 带孔径光阑的明场科勒照明 |
| 左轮手枪 | 内旋转明场 旋转镜（4孔），每个孔具有定心和齐焦校正功能 | 内旋转明场 旋转镜（4孔），每个孔具有定心和齐焦校正功能 | 内旋转明场 旋转镜（4孔），每个孔具有定心和齐焦校正功能 |
| 物镜 | 无限远校正物镜（M.PlanAPO 镜头） | 无限远校正物镜（M.PlanAPO 镜头） | 无限远校正物镜（M.PlanAPO 镜头） |
| 重量 | 7公斤以下 | 7.5公斤以下 | - |
| 聚焦单元：承重 | 45公斤 | 45公斤 | 45公斤 |
| 焦点单元：操作 | 粗动：1转/4mm，微调：1转/0.1mm 手动1轴粗微调动 | 粗动：1转/4mm，微调：1转/0.1mm 手动1轴粗微调动 | 粗动 4mm/rev 细动 0.1mm/rev |
| 对焦单元：行程 | ±25毫米 | ±25毫米 | 50毫米 |
| 外形尺寸 | 192（宽）×352（深）×365（高）毫米 | 192（宽）×352（深）×365（高）毫米 | - |
| 选项 | 模型 |
|---|---|
| 相机适配器 | LCA-1 |
| 卤素光源 LED光源 导光管 | FA-100C/FA-150EN SLBX-15AS SL-B5系列 |
| 电动左轮手枪 | 45°/水平 |
| 偏光滤镜 | PL-2 |
| 彩色滤光片 | FC-R FC-G FC-B FC-Y |
| 目镜 | ②-888 FWF10XDA ③-888 WF15X ④-888 WF20X |
| 物镜 | M.PlanAPO2.5X M.PlanAPO5XSB M.PlanAPO10XSB M.PlanAPO20XSB M.PlanAPO50XSBS M.PlanAPO100XSBS |
| 站立 | STD-67 |
