半导体内部观察显微镜
SWIR-5200 型
配备 1.3 兆 SWIR 相机

这是一种利用红外光的透射和反射特性来观察 硅晶片、芯片、MEMS 和 CSP 等半导体器件内部的显微镜。

・搭载搭载1像素5μm、1.3MP的SONY IMX990的SWIR相机，即使是近红外图像，也能获得前所未有的高分辨率图像。
・使用 成像镜头针对近红外1100-1700nm区域独特设计的镜筒和PEIR物镜系列，与SWIR相机具有高灵敏度，即使在厚晶圆和高密度晶圆上也能获得高对比度图像。
・高功率A近 红外-设置红外卤素光源，即使使用100倍物镜也能获得明亮的图像。
・配备 8英寸晶圆安装台，还可提供防振台和晶圆装载机等选件。