概述
LED芯片分辨率2μ形成
投影光曝光设备，也支持肋骨结构
* 6英寸的演示设备。

使用
LED芯片推杆

规格
工作尺寸：最大6英寸
对齐精度：±0.5μm
运输：手册 /自动选择
选项：蒙版更换器/背面对齐