曝光系统

LED 晶圆曝光系统

LED 晶圆曝光系统

LED的全自动曝光设备
概述
2-4英寸组合/4-6英寸合并有用的全自动曝光机

使用MicroLED LED

规格
处理能力:
1st 150或更多/1小时
2nd 130或更多/1小时
对齐精度:0.5μm或更少
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