用于晶圆曝光设备的研发（蒙版对准器）
研发手册类型
管理可用于研发和小型生产
选择硬接触，软接触和代理，并根据应用程序提出建议

使用
玻璃，晶圆，胶片，陶瓷等研究与开发，批量生产小

规格
晶圆：可以使用12英寸6-8英寸4-6英寸2-4英寸正方形类型
工作运输：手册
对准：手动对齐，自动对齐方式选择
Gap：汽车，手动选择