晶圆盒 FOUP/FOSB 检查系统“SELFI”系列

• 概述

• 该装置可测量晶圆盒 FOUP/FOSB/OC（可插入晶圆）的外径尺寸。可
  从各种角度测量并检查顶部法兰、侧面叉车法兰、晶圆安装台阶间距和定位针孔。

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• 规格

• ・兼容各厂家的FOUP/FOSB/OC，
  　还可检测φ300mm的非标准尺寸和彩色盒。
  ・2500万像素摄像头+专用光学引擎，可实现高画质外径尺寸检测！
  ・超宽视场高速处理实现业界最快水平的吞吐量