面板对位精度检查

概述
TFT基板/CF基板贴合后检查贴合精度。
实现高精度、高稳定性检测 → 重复精度3σ 0.3um以下
反馈到板键合设备有助于提高键合精度。

目的
LCD TFT板/CF板面板
贴合后贴合精度检查

规格
检查对象区域：Sheet Mark、Panel Mark
检查项目：TFT 板/CF 板粘合精度
兼容基板尺寸：最大 G10.5
选项：密封宽度检查、点有无检查