概述
这是一种在线检查装置，用于防止玻璃划线、切割、倒角之后以及蒸发设备交付之前的玻璃边缘裂纹，以及热处理（例如蒸发设备）之前腔室中的裂纹。

规格
【光学系统】
16K线传感器+I/C φ64mm兼容远心镜头（SVL系列）
视场130mm，分辨率8μm